更新時間:2024-07-04
愛德華EH4200羅茨泵維修應(yīng)用半導體制程真空蒸餾真空包裝鋼脫氣薄膜覆層真空冶金低密度風洞空間模擬真空浸漬油干燥和脫氣制藥冷凍干燥CO2激光
品牌 | Edwards/英國愛德華 | 輸送介質(zhì) | 油泵 |
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泵軸位置 | 臥式 | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 食品,生物產(chǎn)業(yè),電子,航天,汽車 |
愛德華EH4200羅茨泵維修
EH機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ),仍是受歡迎的泵,可用于壓力范圍為0.01至10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下,因此高度可靠。
應(yīng)用
半導體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2激光
功能和優(yōu)勢
適用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的壓力范圍下、需要超過3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高
抽速的應(yīng)用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。這可提供:
1、安靜的無振動運行。
2、牢靠且防腐蝕。
3、*的軸封技術(shù),處理艙中不會出現(xiàn)油污染
4、防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
5、經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降到低。
6、軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
7、動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小,而這些特點正是*技術(shù)設(shè)備
由二臺或二臺以上的真空泵及其他附件組合一個體系完結(jié)需求的到達真空度的意圖就叫真空泵體系
真空泵體系規(guī)劃的要害問題是挑選真空抽氣機組的主泵主泵類型的斷定
1、依據(jù)真空室所需求樹立的極限壓力斷定主泵的類型。通常主泵極限壓力的選取要比真空室的極限壓力低半個到一個數(shù)量級。
2、依據(jù)真空室進行技術(shù)出產(chǎn)時所需求的作業(yè)壓力選主泵。應(yīng)正確地挑選主泵的作業(yè)點,在其作業(yè)壓力規(guī)模內(nèi) 愛德華eh4200羅茨泵維修,應(yīng)能掃除真空室內(nèi)技術(shù)過程中發(fā)生的悉數(shù)氣體量。因此,真空室內(nèi)的作業(yè)壓力必定要在主泵的---抽速壓力規(guī)模以內(nèi)。
3、依據(jù)真空室的容積巨細和需求的抽氣時刻來選主泵。真空室體積巨細對體系抽到極限真空的時刻有影響。當抽氣時刻需求必守時,若真空室體積越大,則主泵抽速也越大。
4、正確地組合真空泵 愛德華eh2600羅茨泵維修,因為真空泵有挑選性地抽氣,因此有時選用一種泵不能滿意抽氣需求,需求幾種泵組合起來,互相彌補才干滿意抽氣需求。
5、若真空體系嚴厲需求無油時,則應(yīng)當選各種無油泵作主泵。假如需求不嚴厲,則可挑選有油泵,然后加上一些防油污染辦法 愛德華eh1200羅茨泵維修,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能到達清洗真空需求。
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